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英諾賽科成功導(dǎo)入ASML光刻機(jī)

      2021年12月8日，英諾賽科（珠海）科技有限公司為ASML光刻機(jī)成功導(dǎo)入8英寸硅基氮化鎵量產(chǎn)線舉辦了慶典。英諾賽科于2021年引入ASML光刻機(jī)，憑借著其卓越的成像性能和獨(dú)特的TWINSCAN架構(gòu)（雙晶圓工件平臺(tái)），英諾賽科進(jìn)一步提升了硅基氮化鎵功率器件制造的產(chǎn)能及產(chǎn)線良率。此次慶典上，ASML副總裁兼中國區(qū)總經(jīng)理沈波代表ASML被英諾賽科授予“最佳戰(zhàn)略合作伙伴”稱號(hào)。

晶瑞電材：公司已購得KrF光刻機(jī)

       晶瑞電材表示，公司近期已購得KrF光刻機(jī)一臺(tái)，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時(shí)公司KrF光刻膠（光刻膠厭氧烘箱）量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。

      此前，晶瑞電材已經(jīng)購得用于負(fù)膠、g線、i線、ArF等4臺(tái)光刻機(jī)，再加之此次購得的KrF光刻機(jī)，晶瑞電材已經(jīng)到位5臺(tái)光刻機(jī)。

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