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氮氣烘箱，掩膜板烘箱應(yīng)用

  在掩膜版的生產(chǎn)制造過程中，掩膜版基板在光阻涂布后會有一個烘烤的環(huán)節(jié)，又稱為前烘。目的是用加熱蒸發(fā)的方式祛除掩膜版上光阻中多余的溶劑，增強光阻與掩膜版基板之間的粘附力，并使光阻起到固化的作用；同時，涂覆光阻后的掩膜版在曝光顯影后也需要做顯影后烘，目的是祛除掩膜版上多余的水分、殘留溶劑和消除駐波效應(yīng)。

  掩膜版制作工藝，包括如下步驟：S1、涂膠：提供一光學(xué)高分子PC復(fù)合板材，在所述光學(xué)高分子PC復(fù)合板材表面旋涂抗反射中性密著層，在所述抗反射中性密著層上旋涂中性UV光刻膠；S2、光刻：通過光刻直寫掩膜機對中性UV光刻膠進行激光曝光；S3、顯影：將光刻后的光學(xué)高分子PC復(fù)合板材置于一顯影槽進行浸泡顯影，所述顯影槽內(nèi)設(shè)有顯影液；S4、堅膜。

氮氣烘箱，掩膜板烘箱性能

全周激光滿焊，SUS304＃不銹鋼電熱產(chǎn)生器，防機臺本身產(chǎn)生微塵；

采用特殊風(fēng)道，水平送風(fēng)，溫度均勻性佳；

可定值運行，多段程序運行；

設(shè)備采用雙腔室一體設(shè)計，獨立控制，節(jié)省空間；

溫度范圍： RT+10～200、300/400℃；

溫度均勻度：≤±1.5℃；

潔凈度：class100/1000，適用潔凈間；

設(shè)備尺寸：定制

計時功能：0~ 99H99M可調(diào)，到溫計時，計時完成蜂鳴并停止加熱；

降溫方式：可選配

保溫材料：超細陶瓷纖維；

隔 板：1-10層，；

溫度測量傳感器：高精度鉑電阻；