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潔凈烘箱，百級無塵烘箱
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氮氣烘箱，百級潔凈烘箱在光刻軟烘烤工藝注意事項有哪些？
來源:
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作者:雋思半導體設備部
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發(fā)布時間: 2023-10-07
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氮氣烘箱，百級潔凈烘箱后涂覆烘烤工藝，也稱為軟烘烤或預烘烤，涉及在旋涂之后通過除去該過量溶劑來干燥光致抗蝕劑。
光刻加工中涂布后，所得的抗蝕劑膜將包含20-40%重量的溶劑。后涂覆烘烤工藝，也稱為軟烘烤或預烘烤，涉及在旋涂之后通過除去該過量溶劑來干燥光致抗蝕劑。減少溶劑含量的主要原因是使抗蝕劑膜穩(wěn)定。
在室溫下，光刻加工未烘烤的光致抗蝕劑膜將通過蒸發(fā)而損失溶劑，從而隨時間改變膜的性能。通過烘烤抗蝕劑，去除了大部分溶劑，并且該膜在室溫下變得穩(wěn)定。從光致抗蝕劑膜上去除溶劑有四個主要效果:(1)減小膜的厚度;(2)曝光后烘烤并改變顯影性能;(3)改善粘合性;(4)膜的粘性降低因此不易受到微粒污染的影響。
氮氣烘箱，百級潔凈烘箱用途:
潔凈烘箱，百級無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
氮氣烘箱，百級潔凈烘箱技術參數(shù)：
無塵等級：Class100;
溫度范圍：RT～200/450℃；
工作尺寸（mm）：
450×450×450
500×500×500
600×700×800（可定制）
氮氣烘箱，百級潔凈烘箱可擴展功能：
氧濃度檢測，無塵無氧烘箱
真空無氧烘箱
智能聯(lián)網功能，MES等工業(yè)自動化軟件
掃碼槍，掃碼溯源，一鍵讀取
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